加工設備

MATの加工サービスは、研削・Lapping・CMP・洗浄の各実験装置を設備しております。
加工後には、その場で測定を行い、結果をすぐにご確認いただけます。
お客様の実験室としてご利用でき、ライブデモンストレーションでご希望のプロセスを設計致します。
お客様にはご満足して頂けると確信しております。

縦型インフィードグラインダー実験装置

GYR-311M

研削砥石・チャックテーブル部

縦型インフィードグラインダー実験装置の特徴

1. 1. φ3″・4″・5″・6″・200mm・300mm対応
2. 2. 角基板やチップサイズの対応
3. 3. 1軸のマニュアル装置なので砥石交換が簡単に行なえます。
4. 4. 送り速度が1μｍ～200μm/minが設定可能なので、あらゆる材料に適応できる実験設備です。

マニュアルCMP実験装置

ARW-8C1MS

CMPプラテン部

マニュアルCMP実験装置の特徴

1. 1. φ3″・4″・5″・6″・200mm・300mm対応
2. 2. 角基板やチップサイズの対応
3. 3. 実験装置なので、研磨パッドの貼り替えやスラリーの交換が容易なので、消耗部材を変更したデータ取得が可能
4. 4. 120min以上の長時間プロセスにも対応可能

フェーシング付ラッピング実験装置

MGR-380F

銅定盤

フェーシング付ラッピング実験装置の特徴

1. 1. 真直度の高いフェーシング機構なので、定盤平担度が容易に可能
2. 2. 実験装置なので、研磨材の変更が容易

洗浄装置

ZAB-8S1M

スクラブブラシ

洗浄装置の特徴

1. 1. φ3″・4″・5″・6″・200mm対応
2. 2. 実験装置なので、薬液の交換が容易です。酸・アルカリ系のどちらにも対応できます。
3. 3. スクラブ洗浄・メガソニック洗浄どちらでも実験できます。